�P �X �W �R �N �̃�� [�X �I����ɁA �`� ̃} �c �_.I. ������ [� ^ � [� X � | � [�c ���� Ёu �} �c � � � X � s � [�h ��Ɉڂ����̂ł�� B
� O � � v � b � Q � O � � v � b � W �� W.S.N.A.N.̂P.X.W.T.N.Ƃ������͂�� �ł͎������͖����ł��Ȃ��Ȃ��Ă��͂����B

�D
P.X.W.U.N.ɂ̓}.c._.יJ..w.ɋ����v.]. [� ^ � [. �b �g �͂.
�G ���W ���p��� [��������ƃV � ��v ������ ͂�� B �T ���y �� �ɂP.�T�{�Ƃ���� | ���Z�ł͏����ł��Ȃ��̂ł��B
����. � z � O ̋ 쓮 � n � g � �� u �� ł Q �� Ƃ �� �� ^ � C � �� B � g �� ��ƃg ������ X � ~ �b �V ������� ������̂ł����B
�Q��Ƃ������Ǐ�ł��B���E�} ���Ȍ�쓮�n�̐��X�^�b�t�B���A�R S. U.N.Ɠ����X.y.b.N.̃N..}. ����ɑ����V �ʂɓ��̂�� 邱 �Ƃ��ł��
� � {� �� Ƃ �� ď �� ɂ �����u ��

.

P.X.W.W.N.́A.������̃`��������W. ��� �� �� �� B � u �� �� �G ���W���� 肳 ��Ƀp ��� [���K�v�ł����B
������V �ʓ�� ̍����тŁA �} �c �_�̋Z �p. P.X.W.N.ɂ͂T.T.O.n.͂̂S. c._.V.T.V.v. ��Ɏ�������Ƃ��낪 � A � u �� �N �X ̂Ƃ. ��Лɉ������ 錋 �ʂ��c ������Ƃ͂ł��
�N � X � W � X � N � ́A � Q �� �� { � � � A � u � f � C � g � i � Q � S � �� Ƃ������ƂɂȂ. � V � U � V � v � ɐ V � �� �� � � � � 𐷂 荞 � B
��̐��ʂ������āA ����Ȃ�i����V ���́u�} �c�_�V. ��ā A ���̔N �̃��E �} ���ɂ͂R ��̃N ����} ��������� ����ё����V �ʂƂȂ�A�} �c�_�{�Ђł͔M�����A�u����A. ̐.������ɏ O
.
P.X.O.N.'u.}. C._.V.W.V. B
�V���V�[�́A�ŐV�̉�̓e�N�m� �g���X���v�Z���A�V� ����B � � � ^ �C �����x �Z ���T � [��g �� f � [� ^ ���o �ɂ�� \ �Z�������A.V. ������f� [� ^ �����ʐM � △ ���Ŏ. ȋZ �p ��g ��� �� ��
��� [�X�ɂ́u�} �c�_�V�U�V�a�v. Q � 䂪 � �� ^ � C � �� Ƃ �� �� 󂯕T ���Ȃ��v �Ƃ���� W ���N �X �ʂ�ɂȂ����킯. ��̐V ���j��� [�𓱓����A �G���W���p����[��g���N�����Ȃǂ����co ���� ������ B

.

.
�� 1991 � N � ̓} � c � _ � V � V � �� X � ɏn � �� �� A � G � �� ɉ �� ǂ �� �� �u �} �c �_ �V �W �V �a �v �𐻍삵 �
X. ��؂��d. ��ɂQ �S ���� ̐��͑O.N.Ƃقړ����z.w.��Ƃ.�X �ł ́A �e.P.h..C.O. T.T.v.����[.X.��Ƀ}. ��A �������� {�‥Ƃ��Ďj. �A����������N ���} �͑����W �ʂ������̂ł����A. �ɂ͍ŏ������ ^ �b�`���Ă����̂ŁA � {���Ɋ������
���Ƀ��M�����[�V�����̕ύX�ŁA���[� �ɏo����̂͂��̔N ���Ō�Ƃ����Ă��������ɁA ��т��ЂƂ����ŁA���� ��������Ȃ silicide ��������Y ��ď����̔����ɐ��������̂ł��B
��̑����D ���̌��ʂ ́A ������̋ L �O����c ���  ������R � {����ꂳ � ������`. ������ (�L����) ���Ɂu �O���Ȃ�����v�Ə������L.O. ���� B
�E �} ���s � ̃H..C.o. [.̎.`. ������قɊ silicide ��ꂽ.N.��} �̃��v.
�D
1992 �N � ́A ��M ������ [�V �����̕ύX �ɂ���ă�� ����Ȃ������̂ŁA �p���̃G���W���r���_�[�A�W���b�h�ЂƋ�����V. ^ �R �O �Occ ̂P.O.C. ����V �����u�l.w. | �q.O.P.v. B
�N ���} �͂Q��G ���g ��� C �o � [�����̂ ͂͌_�
�X � ́A �X � ^ � [�g����J �������̂ł����A�t. Hh Zhje A �� P ���s.b.g.͂��������̂. ��ʂ ́A �S �ʁB �A ���͂ł�� �� A ���̐��т͗��h�ł��B
����A����������N����} �C������Ă��̂��̂����B������ƒɂ��������A �������v���𖡂킢.