��̔N �̃��E.} �ɏ�����^�����B����ł�� 邱 �Ƃ̋��ʍ��Ń�� [� ^ ��� [�G���W����U �����Ȃ�A���̉h. A ��� ă�� E �} ��� N ��������B

�� O.N.̂T.N. �� L � ^ �ƂȂ��Ă.�� B

��̂Q �V ��̓���́A�} �c�_�I�[�g�������O. �h����̌����Q�����X��ƁA �����郏 � �Ȃ��B��� [�N�X�𗣂ꂽ��̓Ɨ͂ł̎Q�����A���ɂP.

�ׂ��Ȑ���� 𗅗 photoresist ċ��k �����A ���N �A � �X �s ��b �g �E �I �u �E � i �ɂ́A ���̂ 悤 �ȔN� \ ���������̂��B

�� � [�X � ̌ o � ͕ʍ��ł ������������Ƃ�� � �� ���� [�X������ ‥ ��Ƃ�� × ~ �Ȏ��c����������̂ ́A ���Ɍ���� �E �y � X � J � ��